冯凯萍

研究生导师简介



姓名:冯凯萍  ,性别:男   

学科专业:机械设计制造及其自动化

学历及学位:硕士研究生

职称:副教授

职务:无

联系方式(邮箱)fengkaiping11@126.com

研究方向

精密加工技术及装备

主要科研项目:

[1]浙江省自然科学基金面上项目,《基于微凸峰电场尖端效应的氮化铝基片高效抛光方法研究》,2025.01至今,10万元,主持

[2]衢州市科学计划项目,《多元互连异质结构芯片高表面质量抛光关键技术研究》,2025.01至今,15万元,主持

[3]浙江省自然科学基金联合项目,《多晶硬脆材料临界液膜剪切抛光方法研究》LZY21E050004),2021.1-2023.1210万元,主持。

[4]企业横向,《半导体设备氧化铝陶瓷精密运动平台加工技术开发》,2023.12-2026.1245万,主持

[5]企业横向,《半导体设备氧化铝陶瓷精密运动平台加工技术开发》,2023.11-2025.1125万,主持

近期代表性论文及成果:

[1]Kaiping Feng, Liang Zhao, Binghai Lyu,Lanxing Xu,Yanzhang Gu. Study on the Fabrication and Grinding Performance of the Selfsharpening Cr2O3 Gel Abrasive Tool. International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2024, 2005-4602. (SCI收录)

[2]Kaiping Feng,Binghai Lyu, Tianchen Zhao, Zhaozhong Zhou. Fabrication and Application of Gel Forming Ultrafine Diamond Abrasive Tools.ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2021, 10 063009. (SCI收录)

[3]Lanxing Xu, Kaiping Feng(第一通讯), Liang Zhao, Yanzhang Gu, Tianchen Zhao b,Binghai Lyu. olishing performance and material removal mechanism in the solid-phase Fenton reaction based polishing process of SiC wafer using diamond gel disc. Journal of Materials Processing Tech. 2024, 118486. (SCI收录)

[4]Feng Kaiping,Lyu Binghai,Zhao Tianchen,Yin Tao and Zhou Zhaozhong. Fabrication and Application of Gel-Forming CeO2 Fixed Abrasive Tools for Quartz Glass Polishing. International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2022. (SCI收录)

[5]Kaiping Feng, Tianchen Zhao, Binghai Lyu and Zhaozhong Zhou. Ultra-precision grinding of 4H-SiC wafer by PAV/PF composite sol-gel diamond wheel. Advances in Mechanical Engineering, 13(9), 2021, 1-7. (SCI收录)

[6]冯凯萍,吕冰海,王帅,赵天晨,周兆忠.SiC晶片金刚石磨料凝胶抛光盘的制备与性能分析[J]. 材料导报, 36(12), 2022, 21050197. (EI收录)

[7]冯凯萍,吕冰海,朱国旗,赵天晨,周兆忠.PVA/PF复合凝胶磨具精密磨削碳化硅陶瓷工艺实验研究[J]. 表面技术, 51(2), 2022, 347-357. (EI收录)

[8]冯凯萍,周兆忠.一种采用改性有机硅结合剂的纳米二氧化硅抛光薄膜及其制作工艺,2018.08.14,中国,ZL201510155503.0

[9]冯凯萍,欧进乾,周兆忠,赵天晨,许庆华.一种基于凝胶成型的碳化硅微反应器制备方法,2022.02.15,中国,ZL201910716729.1

[10]冯凯萍,刘嘉伟,周兆忠.一种电解铜填充多孔金刚石磨具及其制备方法, 2021.02.04,中国,ZL201810315367.0

[11]冯凯萍,应俊宏,周兆忠,倪成员,郁炜,尹涛,许庆华. 一种添加可溶性树脂材料的自修锐超硬微细磨具丸片及其制备方法, 2019.02.26,中国,ZL201810315367.0

[12]冯凯萍,金烈阳,周兆忠,杜慧林,郁炜,尹涛,许庆华. 一种高温亚熔融自粘连磨粒磨具制备方法, 2019.08.16,中国,ZL201710909566.X